张总
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发布时间：2022-08-14 13:22
光刻机是半导体领域必不可少的设备，无论生产制造什么样的芯片都脱离不了光刻机。如果想要独立制造出高端的芯片，那则需要拥有世界上顶尖的光刻机。那么光刻机是什么？光刻机究竟有什么用呢？不妨一起来看看吧！
在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施都离不开光刻的技术，光刻是制造芯片的最关键技术，占芯片制造成本的35%以上。光刻机具有技术难度最高、单台成本最大、决定集成密度等特点。每当芯片完成IC设计以后，就要委托晶圆代工厂进行芯片制造封装。晶圆是制造、刻蚀芯片的基础，光刻技术是一种精密的微细加工技术，常规光刻技术是采用波长为2000～4500埃的紫外光作为图像信息载体，然后再以光致抗光刻技术蚀剂为中间媒介实现图形的变换、转移和处理，最终把图像信息传递到晶片或介质层上的一种工艺。
光刻技术就是把芯片制造所需要的线路和功能区做出来，简单来说，就是将芯片设计图中所设计的线路跟功能区印在晶圆之中，类似于照相机照相，不过光刻机刻的不是照片，而是电路图和其他元器件。就好像原本一个空空如也的大脑，通过光刻技术把指令放进去，这个大脑才能够运作，而电脑和其它元器件就是芯片设计人员所设计的指令。光刻主要包括了光复印和刻蚀工艺，光复印技术就是用光刻机完成的，而刻蚀工艺则是用蚀刻机完成的。
在光刻技术的原理下，人们制造了光刻机。该设备通过一系列的光源能量、形状控制手段将光束透射过画着线路图的掩膜，然后再经过物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到晶圆上，不同光刻机成像的比例不同，有5:1的，也有4:1的。可以说光刻决定了半导体线路的精度以及芯片的功耗和性能。
总而言之，光刻机在芯片产业中作用是非常重要的。
Emily
