张总
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发布时间：2023-02-17 17:52
如今是科技化时代，有一样东西在当代社会显得尤为重要，那便是芯片。如果没有芯片，就造不出现代计算机和手机等电子产品，也无法制造出冰箱、电视、洗衣机等家电，就连我们日常出行所使用到的汽车也将受到影响。不过芯片的制造工艺并不是想象中那么简单，往往一枚芯片的制造需要经历上千道工序，并且要用到各种各样的机械设备。可以这样子说，如果没有光刻机，就制造不出好的芯片。除了光刻机之外，还需要使用到其它的机器。那么芯片是什么机器做的？做芯片要用到什么机器？不妨让我们一起来看看吧！
制造芯片有一个非常复杂的生产流程，各个流程中都有相应的设计与制造装备，即便是同一流程也有不同的工艺与相应的机器。比如集成电路的设计、布线要用到EDA软件，这当然要用到电脑了，而这仅仅是刚开始。如果想要制造芯片，则需要用到光刻机、等离子刻蚀机、离子注入机、反应离子刻蚀机、单晶炉、晶圆划片机、晶片减薄机以及气相外延炉等机器。
光刻机是制造芯片最重要的机器设备，它的工作原理则是通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，然后通过物镜补偿各种光学误差，再将线路图按比例缩小后映射到硅片上，最后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。等离子刻蚀机干法刻蚀中最常见的一种形式，而离子注入机是高压小型加速器中的一种。反应离子刻蚀机需要采用反应离子刻蚀技术，该技术是一种各向异性很强、选择性高的干法腐蚀技术。
单晶炉这一设备需要在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。而晶片减薄机通常是在芯片封装之前使用，需要对晶片背面多余的基体材料进行打薄处理。
总而言之，制造芯片需要用到各种各样的机器。
Emily
