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发布时间：2022-07-04 16:21
在芯片产业发展过程中，相关的机械设备是非常重要的，因为在制作芯片的各个流程中，都需要拥有相应的设计与制造设备。即便是同一流程也会使用不同的工艺以及与之相对应的机器。那么芯片生产设备有哪些呢？制造芯片究竟需要哪些设备呢？不妨一起来看看吧！
芯片的制作主要分为了设计、制造以及封测三个大的步骤，设计需要用到电脑，因为芯片的设计以及布线都需要用到电子设计自动化软件。电脑只是最基础的设备，除此之外，还需要拥有光刻机、等离子刻蚀机、离子注入机、反应离子刻蚀机、单晶炉、晶圆划片机、晶片减薄机、气相外延炉等设备。
光刻机这一设备是至关重要的，因为往往顶尖的光刻机能够生产出高端的芯片，而目前我国国内还没有顶尖的光刻机，需要通过台积电代工生产出高端的芯片，或者是从国外购入一些二手的光刻机。在加工芯片的过程中，光刻机主要是通过一系列的光源能量以及形状控制手段将光速透视能量按一定的比例缩小映射到硅片上，再使用化学的方法进行显影，最后便能够得到刻在硅片上的电路图了。等离子刻蚀机采用的原理是将暴露在电子区域的气体形成等离子体，然后电离气体原子在通过电场加速时，它能够释放足够的力量，以及在表面驱逐力的作用下紧紧粘合材料或者是刻蚀表面。
反应离子刻蚀机主要是在真空系统中利用分子气体等离子来进行刻蚀，然后通过一定的化学反应去实现各向异性刻蚀。它不仅能够形成溶液刻蚀的损伤，并且能促进化学反应，还能够更方便的清除难以清洁的表面。晶圆划片机的主要功能便是将晶圆切割成一小块。
总而言之，制造芯片所需要的设备有光刻机、等离子刻蚀机、离子注入机、反应离子刻蚀机、单晶炉、晶圆划片机、晶片减薄机、气相外延炉等等。
Emily
